液相滲硅爐技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

電阻爐采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用，也可采用感應(yīng)加熱方式；

可選配全密閉馬弗室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；

適于工藝氣氛：真空/N₂/Ar。

液相滲硅爐產(chǎn)品規(guī)格

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

液相滲硅爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

熱電偶：C分度號(hào)